Accelerometer sensing element based on nanostructured silicon
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Accelerometer sensing element based on nanostructured silicon
Чутливий елемент акселерометра на основі наноструктур кремнію |
|
| Creator |
Druzhynin, Anatoliy
Kogut, Igor Golota, Viktor Khoverko, Yuriy |
|
| Subject |
accelerometer
polysilicon structure silicon-on-insulator etching nanoelectromechanical system |
|
| Description |
In this work we consider sensing elements of an accelerometer which is made using the combined technologies of silicon-on-insulator (SOI) structures and silicon nanocrystals whiskers manufacturing. On their basis a quick-response, high sensitive to acceleration and displacement device with submicrometer and nanometer typological sizes has been designed. This enabled us to create, on its basis, both a discrete device and an element of integrated nanoelectromechanical element silicon-on- insulator structures, which provides control of displacement up to 200 nm. У роботі розглянуто чутливий елемент акселерометра, виконаний з використанням суміщеної технології створення структур кремній-а-ізоляторі та ниткоподібних нанокристалів кремнію. На його основі розроблено малоінерційний, швидкодіючий, високочутливий до прискорення і переміщень пристрій із субмікрометровими та нанометрровими топологічними розмірами. Це дало можливість реалізувати як дискретний прилад, так і елемент зінтегрованих наноелектромеханічних систем зі структурою кремній-на-ізоляторі, який за безпечує контроль переміщення з точністю до 200 нм. |
|
| Date |
2014-02-11T13:34:39Z
2014-02-11T13:34:39Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Accelerometer sensing element based on nanostructured silicon / Anatoliy Druzhynin, Igor Kogut, Yuriy Khoverko, Viktor Golota // Computational Problems of Electrical Engineering. – 2013. – Volume 3, number 1. – P. 11–15. – Bibliography: 25 titles.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/23382 |
|
| Language |
en
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
Publishing House of Lviv Polytechnic National University
|
|