Мікроелектромеханічні системи у сучасному приладобудуванні
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Мікроелектромеханічні системи у сучасному приладобудуванні
|
|
| Creator |
Гірняк, Ю.
|
|
| Description |
The state of the microsystem technology as perspective direction of science and technique development is analyzed; description of the microelectromechanical systems basic parts and description of structural features and industries of their application are given. The design and production problems of the microsystem devices are discussed too. Аналізується стан мікросистемного приладобудування як перспективний напрям розвитку науки та техніки, подається описання основних вузлів мікроелектромеханічних систем з описанням конструктивних особливостей та галузей їхнього застосування. Також розглядається проблематика проектування та виготовлення мікросистемних приладів. Анализируется состояние микросистемного приборостроения как перспективное направление развития науки и техники, подается описание основных узлов микроэлектромеханических систем с описанием конструктивных особенностей и отраслей их применения. Рассмотрена проблематика проектирования и изготовления микросистемных приборов. |
|
| Date |
2009-09-10T07:41:12Z
2009-09-10T07:41:12Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Гірняк, Ю. Мікроелектромеханічні системи у сучасному приладобудуванні / Ю. Гірняк // Вимірювальна техніка та метрологія. - Л. : Вид-во Нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2008. - С. 97-102.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/1376 |
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету "Львівська політехніка"
|
|