Формування буферних шарів GaAs для нарощування квантових точок методом низькотемпературної рідинно-фазної епітаксії.
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Формування буферних шарів GaAs для нарощування квантових точок методом низькотемпературної рідинно-фазної епітаксії.
Formation of gaas buffer layers for growing of quantum dots by low temperature liquid phase epitaxy method |
|
| Creator |
Заячук, Д. М.
Круковський, С. І. Михащук, Ю. С. |
|
| Subject |
галієві розчини-розплави
технологічні режими technological conditions growing of GaAs |
|
| Description |
Розроблено і реалізовано технологічні режими нарощування буферних шарів GaAs з перенасичених галієвих розчинів-розплавів, які забезпечують формування робочої поверхні вищої якості стосовно якості поверхні вихідної підкладки. Досліджено поведінку буферних шарів GaAs у контакті з насиченими розчинами-розплавами In-InAs за температури 450 оС. Показано, що за тривалості такого контакту щонайменше дві хвилини перехідні шари з вмістом індію на поверхні підкладки GaAs не утворюються. Technological conditions for growing of GaAs buffer layers from oversaturated melt-solution are elaborated and realized. The conditions enable to form resulting surface that has higher quality than quality of initial substrate surface. A behavior of GaAs buffer layers being in contact with saturated melt-solution. In-InAs at temperature 450 o C is investigated. It is shown that there are no transition layers containing Indium on the surface of GaAs substrate if duration of contact is no more than two minutes.
|
|
| Date |
2010-02-24T17:42:37Z
2010-02-24T17:42:37Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Заячук Д. М. Формування буферних шарів GaAs для нарощування квантових точок методом низькотемпературної рідинно-фазної епітаксії / Д. М. Заячук, С. І. Круковський, Ю. С. Михащук // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2009. – № 646 : Електроніка. – С. 71–76. – Бібліографія: 10 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/2608 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”
|
|