Особливості технології вирощування мікрокристалів твердого розчину InAs1-XSbX з газової фази
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особливості технології вирощування мікрокристалів твердого розчину InAs1-XSbX з газової фази
|
|
| Creator |
Большакова, І. А.
Кость, Я. Я. Макідо, О. Ю. Шуригін, Ф. М. |
|
| Subject |
технології вирощування
мікрокристали твердого розчину газова фаза газотранспортні реакції |
|
| Description |
Наведено результати, отримані під час розроблення технології вирощування мікрокристалів твердого розчину InAs1-XSbX за механізмом пара–рідина–кристал (ПРК- механізмом) методом газотранспортних реакцій. Визначено залежність складу вирощених мікрокристалів від температурного режиму процесу вирощування. За розробленою технологією було вирощено мікрокристали InAs1-XSbX, в яких вміст InSb становив 4 мол.% та 16 мол.%. Проведені дослідження показали можливість одержання мікрокристалів твердого розчину InAs1-XSbX з газової фази в хлоридній системі. Results obtained while developing the technology of growing InAs1-XSbX solid solution microcrystals by chemical transport reactions method in conjunction with VLS-mechanism are represented. Composition dependence of the microcrystals grown upon the thermal conditions of the growth process is determined. InAs1-XSbX microcrystals with InSb content of 4 molar % and 16 molar % have been grown by means of the technology developed. The conducted research demonstrated the possibility of growing InAs1-XSbX solid solution microcrystals by chemical vapor deposition in chloride system. |
|
| Date |
2010-06-09T05:45:24Z
2010-06-09T05:45:24Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особливості технології вирощування мікрокристалів твердого розчину InAs1-XSbX з газової фази / І. А. Большакова, Я. Я. Кость, О. Ю. Макідо, Ф. М. Шуригін // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2007. – № 592 : Електроніка. – С. 3–7. – Бібліографія: 9 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/4347 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
|
|