Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної стуктури підкладки
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної стуктури підкладки
|
|
| Creator |
Логуш, О.І.
|
|
| Subject |
термічний оксид кремнію
дефекти плівок |
|
| Date |
2010-06-23T11:06:26Z
2010-06-23T11:06:26Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Логуш О.І. Наслідування дефектами плівок термічного SiO2 дислокаційної стуктури підкладки / О.І. Логуш // Дванадцята відкрита науково-технічна конференція професорсько-викладацького складу Інституту телекомунікацій, радіоелектроніки та електронної техніки Національного університету “Львівська політехніка” з проблем електроніки: Тези доповідей. – Львів, Видавництво Національного університету “Львівська політехніка”, 2009. – 72 с. – С. 49
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/5761 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Національний Університет "Львівська політехніка"
|
|