| |
| Поле |
Співвідношення |
| |
| Title |
Model of a Piezoelectric Microaccelerometer Based on Two Piezoelectric Plates Separated by a Layer of Polysilicon
|
| |
| Creator |
Kushnir, Yurij
Lobur, Mykhaylo
|
| |
| Subject |
MEMS
accelerometer
piezoelectric effect
FEM
ANSYS
|
| |
| Description |
This paper presents an alternative design
solution for a piezoelectric sensor based on two plates
separated by a polysilicon solid body
|
| |
| Date |
2010-10-04T07:14:43Z
2010-10-04T07:14:43Z
2010
|
| |
| Type |
Article
|
| |
| Identifier |
Kushnir Y. Model of a Piezoelectric Microaccelerometer Based on Two Piezoelectric Plates Separated by a Layer of Polysilicon. / Y. Kushnir, M. Lobur // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії, Міжнар. конф. TCSET(2010 Львів-Славсько, Україна) Матеріали Міжнародної конференції TCSET'2010, 23-27 лют. 2010, Львів-Славсько, Україна / "Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії", Міжнар. конф. TCSET(2010 Львів-Славсько, Україна) ; Нац. ун-т "Львів. політехніка". - Л. : Вид-во Нац. ун-ту "Львів. політехніка", 2010. - 380 с. : іл. - Парал. тит. арк. англ. - C. 51
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/6198
|
| |
| Language |
en
|
| |
| Publisher |
Національний університет "Львівська політехніка"
|
| |
