Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу емнісних акселерометрів
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу емнісних акселерометрів
|
|
| Creator |
Теслюк, В. М.
Каркульовський, Б. В. |
|
| Subject |
ємнісний акселерометр
МЕМС анкер capacitive accelerometer МЕМS anchor |
|
| Description |
Досліджено вплив конструктивних особливлстей анкерів на вихідні параметри ємнісних конструкцій інтегральних акселерометрів. The article analyzes anchors influence of structural features on capacitive accelerometers integral structures output parameters.
|
|
| Date |
2011-02-22T08:30:11Z
2011-02-22T08:30:11Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Теслюк В. М. Дослідження впливу конструкцій анкерів на роботу емнісних акселерометрів / В. М. Теслюк, Б. М. Каркульовський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2010. – № 685 : Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 83–87. – Бібліографія: 4 назви.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/7473 |
|
| Language |
ua
|
|
| Publisher |
Видавництво Львівської політехніки
|
|