| |
| Поле |
Співвідношення |
| |
| Title |
New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization
|
| |
| Creator |
Berezhansky, Volodymyr
|
| |
| Subject |
quasilinear process
The Deale-Grove’s model
interphase border
numerical methods
diffusive-oxidizing processes
|
| |
| Description |
Redistribution of doping during diffusive-oxidizing processes is simulated. The optimal technological conditions of diffusive oxidizing processes is determined.
|
| |
| Date |
2012-09-12T12:24:51Z
2012-09-12T12:24:51Z
2012
|
| |
| Type |
Article
|
| |
| Identifier |
Berezhansky V. New approach for modeling processes of doping redistribution during oxidization / Volodymyr Berezhansky // Сучасні проблеми радіоелектроніки, телекомунікацій, комп'ютерної інженерії TCSET'2012 : матеріали XI Міжнародної конференції, присвяченої 60-річчю заснування радіотехнічного факультету у Львівській політехніці, 21-24 лютого 2012, Львів, Славське, Україна / Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України, Національний університет "Львівська політехніка". - Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. - С. 545. - Bibliography: 2 titles. - Паралельний титульний аркуш англійською.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/14231
|
| |
| Language |
en
|
| |
| Publisher |
Національний університет "Львівська політехніка"
|
| |
