Electrochemical aluminium oxide technology for production of electronics
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Electrochemical aluminium oxide technology for production of electronics
|
|
| Creator |
Sokol, V.
Shulgov, V. |
|
| Subject |
aluminum
porous anodic alumina electrochemical anodizing multilevel interconnection multicrystalline modules |
|
| Description |
The paper reviews the results of application of porous alumina formed using the electrochemical anodization process. Porous alumina is widely used in the microelectronics as a) anodized aluminum bases, b)systems of multilevel interconnections, c) aluminum packages for VLSIs and hybrid integrated circuits, d) thin-film temperature sensors, e) Al-based heating elements etc. Parameters of the structures with porous anodic alumina are summarized depending on the anodizing conditions.
|
|
| Date |
2012-10-10T13:04:35Z
2012-10-10T13:04:35Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Sokol V. Electrochemical aluminium oxide technology for production of electronics / V. Sokol, V. Shulgov // Оксидні матеріали електронної техніки – отримання, властивості, застосування (ОМЕЕ – 2012) : збірник матеріалів міжнародної наукової конференції, 3-7 вересня 2012 року, Львів, Україна / Міністерство освіти і науки, молоді та спорту України, Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів : Видавництво Львівської політехніки, 2012. – С. 55-56. – Паралельний титульний аркуш англійською. – Bibliography: 4 titles.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/15142 |
|
| Language |
en
|
|
| Publisher |
Національний університет "Львівська політехніка"
|
|