Расчет плотности ионного тока индуктивного высокочастотного источника ионов
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Расчет плотности ионного тока индуктивного высокочастотного источника ионов
|
|
| Creator |
Возный, В.И.
Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Шульга, Д.П. |
|
| Subject |
ВЧ источник ионов
ионный пучок плазма плотность тока |
|
| Description |
Исследовался высокочастотный (ВЧ) индуктивный ионный источник, работающий на частоте 27,12 МГц. Используя глобальную модель аргонового разряда, рассчитана плотность плазмы, электронная температура и плотность ионного тока ВЧ-источника в зависимости от поглощенной ВЧ-мощности и давления газа при изменении размеров разрядной камеры. Установлено, что плотность тока ионного пучка возрастает при уменьшении размеров разрядной камеры. Расчеты показывают, что в индуктивном источнике с разрядной камерой диаметром 30 мм и длиной 35 мм при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности и давлении аргона 7 мТорр плотность ионного тока равна 40 мА/см2, что хорошо согласуется с экспериментально измеренной величиной 43 мА/см2. При уменьшении диаметра разрядной камеры до 15 мм плотность ионного тока может достигать величины 85 мА/см2 при 100 Вт поглощенной ВЧ-мощности. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625 |
|
| Publisher |
Сумский государственный университет
|
|
| Date |
2012-12-20T09:01:41Z
2012-12-20T09:01:41Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, Д.П. Шульга, Ж. Нано- Электрон. Физ. 4 № 3, 03019 (2012)
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/29625 |
|
| Language |
ru
|
|