Математическая модель процесса ионной имплантации
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Математическая модель процесса ионной имплантации
|
|
| Creator |
Соколов, Сергій Вікторович
Соколов, Сергей Викторович Sokolov, Serhii Viktorovych Щекотова, И.В. Доброжан, А.А. |
|
| Subject |
обробка матеріалів
іонна імплантація обработка материалов ионная имплантация |
|
| Description |
Одним из современных методов поверхностной обработки материалов высокоэнергетическими частицами является ионная имплантация. Этот метод не зависит от пределов химической растворимости и концентрации материла примеси на поверхности кристалла, а также от температуры в процессе имплантации При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 |
|
| Publisher |
Сумський державний університет
|
|
| Date |
2012-09-17T12:15:24Z
2012-09-17T12:15:24Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Соколов, C.B. Математическая модель процесса ионной имплантации [Текст] / C.B. Соколов, И.В. Щекотова, А.А. Доброжан // Сучасні інформаційні системи і технології : матеріали Першої міжнародної науково-практичної конференції, м. Суми, 15-18 травня 2012 р. / Ред.кол.: А.С. Довбиш, О.А. Борисенко, І.В. Баранова. — Суми : СумДУ, 2012. — С. 27-28.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/28538 |
|
| Language |
ru
|
|