Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску
|
|
| Creator |
Пазуха, Ірина Михайлівна
Пазуха, Ирина Михайловна Pazukha, Iryna Mykhailivna |
|
| Subject |
фізика приладів, елементів і систем
физика приборов, элементов и систем |
|
| Description |
Сучасні тенденції розвитку мікро- і наноелектроніки, сенсорної техніки та ін. галузей приладобудування стимулюють пошуки нових матеріалів для створення елементної бази, які б мали більш широкий спектр функціональних можливостей та задовольняли вимоги матеріалознавців і конструкторів. Серед таких матеріалів можна виділити багатошарові плівкові структури загального типу та мультишари. Широке використання плівкових матеріалів як чутливих елементів різноманітних датчиків неелектричних вели- чин стимулює як фізико-технологічні, так і фундаментальні дослідження про- цесів, які дають можливість підвищити ефективність датчиків. У зв’язку з цим на даний час актуальним залишається вивчення електрофізичних (питомий опір, термічний коефіцієнт опору (ТКО), коефіцієнт тензочутливості (КТ)), ма- гніторезистивних (магнітоопір), оптичних та ін. властивостей тонкоплівкових матеріалів. Однак для покращання характеристик сенсорів, чутливими елементами яких є тонкоплівкові зразки, недостатньо тільки розуміти явища, які лежать в основі роботи приладу, наприклад, тензоефект або спін-залежне розсіювання електронів. При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15869 |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-08-09T08:06:50Z
2011-08-09T08:06:50Z 2009 |
|
| Type |
Thesis
|
|
| Identifier |
Пазуха, І.М.
Фізичні процеси в чутливих елементах датчиків температури, деформації і тиску [Текст] : Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук / І.М. Пазуха. - Суми : СумДУ, 2009. - 150 с. - СумДУ
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/15869 |
|
| Language |
uk
|
|