Нанесение пленки резиста на поверхность кремниевой пластины
Electronic Volodymyr Dahl East Ukrainian National University Institutional Repository
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Нанесение пленки резиста на поверхность кремниевой пластины
|
|
| Creator |
Свербиненко, В.С.
Тюндер, И.С. |
|
| Date |
2016-10-06T18:07:45Z
2016-10-06T18:07:45Z 2015 |
|
| Type |
Other
|
|
| Identifier |
Свербиненко В.С.Нанесение пленки резиста на поверхность кремниевой пластины / В.С. Свербиненко, И.С. Тюндер // Тези доповідей П'ятої Всеукраїнської науково-практичної конференції «Електронні апарати та системи. Проблеми створення. Перспективи розвитку», Сєвєродонецьк, 30-31 жовт. 2015 р. / [редкол.: О. В. Поркуян та ін.]. – Сєвєродонецьк : Вид-во СНУ ім. В. Даля, 2015. – С. 87 - 90.
http://dspace.snu.edu.ua:8080/jspui/handle/123456789/834 |
|
| Language |
ru
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
СНУ ім. В.Даля
|
|