Властивості шарів поруватого кремнію та епітаксіальних шарів на його поверхні
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Властивості шарів поруватого кремнію та епітаксіальних шарів на його поверхні
|
|
| Creator |
Хрипко, С.Л.
|
|
| Description |
У роботі отримані конкретні результати про вплив умов електрохімічного анодування на головні параметри поруватого кремнію: товщину, поруватість, густину, розміри пор. Показана можливість управління процесами анодування. Були вирощені епітаксіальні плівки на поруватому кремнію, які мали високий рівень досконалості.
|
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2011-05-25T08:47:23Z
2011-05-25T08:47:23Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Хрипко, С. Л.
Властивості шарів поруватого кремнію та епітаксіальних шарів на його поверхні [Текст] / С. Л. Хрипко
// Вісник Сумського державного університету. Серія Фізика, математика, механіка. - 2007. - №1. - С. 157-162.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/9835 |
|
| Language |
uk
|
|