Mechanism and Conditions of Nanoisland Structures Formation by Vacuum Annealing of Ultrathin Metal Films
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Mechanism and Conditions of Nanoisland Structures Formation by Vacuum Annealing of Ultrathin Metal Films
Механізм та умови формування наноострівцевих структур при вакуумному відпалі надтонких металевих плівок Механизм и условия формирования наноостровковых структур при вакуумном отжиге сверхтонких металлических плёнок |
|
| Creator |
Tomilin, S.V.
Yanovsky, A.S. |
|
| Subject |
Thin film
Тонка плівка Тонкая пленка Vacuum annealing Вакуумний відпал Вакуумный отжиг Diffusion Диффузия Дифузія Nanoisland Наноостровок Наноострівець SEM РЕМ РЭМ |
|
| Description |
В роботі представлені теоретичні та експериментальні результати досліджень наноострівцевих металевих покриттів на напівпровідникових підкладках, отриманих при вакуумному відпалі надтонких суцільних плівок. Експериментально показано, що формування острівцевої структури можливе тільки для плівок з товщиною більшою за деяке значення. Дослідження поверхневої морфології плівок проводилось з використанням РЕМ.
В работе представлены теоретические и экспериментальные результаты исследований наноостровковых металлических покрытий на полупроводниковых подложках, полученных при вакуумном отжиге сверхтонких сплошных плёнок. Экспериментально показано что формирование островковой структуры возможно только для плёнок с толщиной более некоторого значения. Исследование поверхностной морфологии плёнок производилось с использование РЭМ. The paper presents theoretical and experimental results of studies of nanoisland metallic coatings on semiconductor substrates obtained by vacuum annealing of ultrathin solid films. It is shown experimentally that the formation of islet structure is possible only for films with thickness above a certain value. The study of surface morphology of the films was carried out using SEM. |
|
| Publisher |
Сумський державний університет
|
|
| Date |
2013-09-11T09:17:34Z
2013-09-11T09:17:34Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
S.V. Tomilin, A.S. Yanovsky, J. Nano- Electron. Phys. 5 No 3, 03014 (2013)
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/31946 |
|
| Language |
en
|
|