Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії
Институционный репозиторий Киевского университета имени Бориса Гринченко
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Relation |
http://elibrary.kubg.edu.ua/2113/
http://library.nung.edu.ua/metodi-ta-priladi-kontrolyu-yakosti |
|
| Title |
Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії
Метрологический анализ и метрологическое обеспечение атомно-силовой микроскопии Metrology analysis and metrology providing of atomic force microscopy |
|
| Creator |
Надорожняк, Х.О.
Витвицька , Л.А. Литвин, Оксана Степанівна Середюк, Орест Євгенович Прокопенко, Інна Володимирівна |
|
| Subject |
Фахові (входять до переліку фахових, затверджений МОН)
|
|
| Description |
Обгрунтовано необхідність розроблення та впровадження стандартів щодо метрологічного забезпечення скануючих зондових мікроскопів як найбільш перспективних засобів вимірювальної техніки в області нанотехнологій та їх використання при сертифікаційних, контрольних, інспекційних випробуваннях. Проведено метрологічний аналіз атомно-силового мікроскопа NanoScope IlІa Dimension 3000, розроблена його метрологічна модель та методика і засоби його калібрування. На основі експериментальних даних визначені розкиди значень геометричних параметрів поверхонь у нанометровому діапазоні 3D-вимірювань, викликані впливом різних джерел невизначеності
Обосновано необходимость разрабатывания и внедрения стандартов относительно метрологического обеспечения сканирующих зондовых микроскопов как наиболее перспективных средств измерительной техники в области нанотехнологий и их использования при сертификационных, контрольных, инспекционных испытаниях. Проведен метрологический анализ атомно-силового микроскопа NanoScope IlІa Dimension 3000, разработана его метрологическая модель и методика и средства его калибрования. На основе экспериментальных данных определены разбросы значений геометрических параметров поверхностей в нанометровом диапазоне 3D-измерений, вызванные влиянием различных источников неопределенности Grounded necessity of development and introduction of standards in relation to the metrology providing of scanning probe microscopes as most perspective facilities of measuring technique in the area of nanotechnology and their using for the certification, inspection proof-testing. The metrology analysis of atomic force microscope of NanoScope IlІa Dimension 3000 is conducted, its metrology model and method and facilities of its calibration is developed. On the basis of experimental information variations of values of surfaces geometrical parameters are determined in the nanometric range of 3D-measurement, caused by influence of different sources of uncertainty |
|
| Publisher |
ІФНТУНГ
|
|
| Date |
2011-05-17
|
|
| Type |
Стаття
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
|
|
| Identifier |
http://elibrary.kubg.edu.ua/2113/6/Kh_Nadorozhniak_L_Vytvytska_O_Lytvyn_etc_MPKIA-2011-n26_IS.pdf
Надорожняк, Х.О. та Витвицька , Л.А. та Литвин, Оксана Степанівна та Середюк, Орест Євгенович та Прокопенко, Інна Володимирівна (2011) Метрологічний аналіз та метрологічне забезпечення атомно-силової мікроскопії Методи та прилади контролю якості, 26 (26). с. 77-84. ISSN 1993-9981 |
|