Interference photolithography using photoetching effect In chalcogenide films
Институционный репозиторий Киевского университета имени Бориса Гринченко
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Relation |
http://elibrary.kubg.edu.ua/2226/
http://www.chalcogen.ro/jnog.html |
|
| Title |
Interference photolithography using photoetching effect In chalcogenide films
Інтерференційна фотолітографія з використанням ефекту фототравлення в халькогенідних плівках Интерференционная фотолитография с использованием эффекта фототравления в халькогенидных пленках |
|
| Creator |
Dan’ko, V.A.
Indutny , I.Z. Myn’ko, V.I. Shepeliavyi, P.E. Lykanyuk, M.V. Lytvyn, O.S. |
|
| Subject |
Інші (не входять ні до фахових ні до наукових)
|
|
| Description |
The surface roughness of thin amorphous films of chalcogenide glasses (ChG) after photostimulated dissolution in amine-based selective etchant has been investigated. It is established that the rms roughness of the annealed and photoetched ChG film substantially smaller than the as-evaporated film and etched in the same selective etchant. This makes it possible to obtain more higher-quality lithographic masks or periodic relief-phase structures using new photoetching effect: photo-induced enhancement in solubility of annealed ChG layers. A possible mechanism for the photoinduced etching of ChGs is discussed. The diffraction gratings on germanium ChG - more environmentally acceptable compounds than traditionally used arsenic chalcogenides, were recorded for the first time by using the effect of hotoinduced etching on ChG layers and their characteristics were studied
Досліджено шорсткість поверхні тонких плівок аморфних халькогенідних стекол (CHG) після фотостимульованого розчинення в селективних травниках на основі амінів. Встановлено, що середньоквадратична шорсткість поверхні відпаленої та фототравленої ChG-плівки значно менша, ніж осадженої і травленої в тому ж селективному травнику плівки. Використання нового ефекту фототравлення – фотоіндукованого підвищення розчинності відпалених ChG шарів – дає можливість отримати літографічні маски або періодичні рельєфно-фазові структури вищої якості. Обговорюється можливий механізм фотоіндукованого травлення CHG-плівок. Вперше записані з використанням ефекту фотоіндукованого травлення дифракційні гратки на германієвих CHG, екологічно прийнятніші сполук, ніж традиційно використовуваних халькогенідів миш'яку; вивчено їх характеристики. Исследована шероховатость поверхности тонких пленок аморфных халькогенидных стекол (CHG) после фотостимулированного растворения в селективных травителях на основе аминов. Установлено, что среднеквадратичная шероховатость поверхности отожженной и фототравленой ChG-пленки значительно меньше, чем осажденной и травленной в том же селективном травителе пленки. Использование нового эффекта фототравления - фотоиндуцированного повышения растворимости отожженных ChG слоев - дает возможность получить литографические маски или периодические рельефно-фазовые структуры высшего качества. Обсуждается возможный механизм фотоиндуцированного травления CHG-пленок. Впервые записаны с использованием эффекта фотоиндуцированного травления дифракционные решетки на германиевых CHG, экологически более приемлемом соединении, чем традиционно используемых халькогенидов мышьяка; изучены их характеристики. |
|
| Date |
2012-05-15
|
|
| Type |
Стаття
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
|
|
| Identifier |
http://elibrary.kubg.edu.ua/2226/1/V_Danko_I_Indutnyy_V_Minko_etc_JNOG_2012_v3_IS.pdf
Dan’ko, V.A. та Indutny , I.Z. та Myn’ko, V.I. та Shepeliavyi, P.E. та Lykanyuk, M.V. та Lytvyn, O.S. (2012) Інтерференційна фотолітографія з використанням ефекту фототравлення в халькогенідних плівках Journal of Non-Oxide Glasses, 3 (2). с. 13-18. ISSN 2605-6874 |
|