Запис Детальніше

Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB2-TiSi2, получение и свойства

Electronic Archive of Sumy State University

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB2-TiSi2, получение и свойства
Ion-plasma coating AlN-TiB2-TiSi2 systems, obtaining and properties
Іонно-плазмове покриття системи AlN-TiB2-TiSi2, отримання та властивості
 
Creator Азаренков, М.О.
Азаренков, Н.А.
Azarenkov, M.О.
Береснев, В.М
Beresnev, V.M.
Торяник, І.С.
Торяник, И.С.
Toryanik, I.S.
Погребняк, Олександр Дмитрович
Погребняк, Александр Дмитриевич
Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych
Соболь, О.В.
Sobol, O.V.
Дробышевская, А.А.
Drobyshevskaya, A.A.
Кропотов, А.Ю.
Kropotov, A.Y
Толмачева, Г.Н.
Tolmacheva, G.N.
Клименко, С.А.
Klymenko, S.A.
Турбин, П.В.
Turbin, P.V.
Литовченко, С.В.
Lytovchenko, S.V.
Колесников, Д.А.
Kolesnikov, D.A.
 
Subject магнетронное распыление
магнетронне розпилення
magnetron sputtering
дифузійний бар’єр
диффузионный барьер
diffusion barrier
 
Description Методом магнетронного розпилення мішені, що складається з AlN-TiB2-TiSi2, отримані покриття зі значенням індексу в’язкопластичності 0,07 при твердості Н = 15,3 ГПа, що забезпечує високі демпфуючі властивості такого покриття, при цьому аморфноподібна структура представляє перспективним застосування таких покриттів в якості дифузійних бар’єрів як самостійних елементів,та і в якості контактуючого шару в багатошарових зносостійких покриттях.
При цитуванні документа, використовуйте посилання http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33939
Методом магнетронного распыления мишени, состоящей из AlN-TiB2-TiSi2, получены покрытия со значением индекса вязкопластичности 0,07 при твердости Н = 15,3 ГПа, что обеспечивает высокие демпфирующие свойства такого покрытия, при этом аморфноподобная структура представляет перспективным использование таких покрытий в качестве диффузионных барьеров как в виде самостоятельных элементов, так и в качестве контактирующего слоя в многослойных износостойких покрытиях.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33939
By magnetron sputtering of target consisting of AlN-TiB2-TiSi2 the coatings with value of the index viscoplastic 0,07 at a hardness of H = 15,3 GPa were obtained that provides high damping properties of the coating, and amorphous like structure makes promising the use of these coatings as diffusion barriers in the form of independent elements, and as a contacting layer in multilayer wear resistant coatings.
When you are citing the document, use the following link http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33939
 
Publisher Национальный научный центр "Харьковский физико-технический институт"
 
Date 2014-02-12T08:44:26Z
2014-02-12T08:44:26Z
2013
 
Type Article
 
Identifier Ионно-плазменное покрытие системы AlN-TiB2-TiSi2, получение и свойства [Текст] / Н.А. Азаренков, В.М. Береснев, И.С. Торяник [и др.] // Вопросы атомной науки и техники. — 2013. — №2 (84). — С. 144-147
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/33939
 
Language ru