Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці
|
|
| Creator |
Перекрестов, Вячеслав Іванович
Перекрестов, Вячеслав Иванович Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Космінська, Юлія Олександрівна Косминская, Юлия Александровна Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Мокренко, Олександр Анатолійович Мокренко, Александр Анатольевич Mokrenko, Oleksandr Anatoliiovych Корнющенко, Ганна Сергіївна Корнющенко, Анна Сергеевна Korniushchenko, Hanna Serhiivna Дьошин, Борис Вікторович Дешин, Борис Викторович Doshyn, Borys Viktorovych Дьошин, В.Б. Дешин, В.Б. Doshyn, V.B. Латишев, В.М. Латишев, В.М. Latyshev, V.M. |
|
| Subject |
магнетронне розпилення
магнитронное распыление нітрид алюмінію нитрид аллюминия |
|
| Description |
Метою проекту є дослідження й розробка нових технологічних підходів до формування конденсатів Si, SiC і AlN, основаних на явищах самоорганізації квазірівноважних стаціонарних процесів на межі поділу низькотемпературна плазма-конденсат.
|
|
| Publisher |
Вид-во СумДУ
|
|
| Date |
2014-05-28T08:24:29Z
2014-05-28T08:24:29Z 2011 |
|
| Type |
Technical Report
|
|
| Identifier |
Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AIN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці: звіт про НДР (заключний) / Кер.: В.І. Перекрестов. - Суми: СумДУ, 2011. - 62 с.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35280 |
|
| Language |
uk
|
|