Запис Детальніше

Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора

Electronic Archive of Sumy State University

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора
О некоторых усовершенствованиях ионного микрозондового анализатора
On Some Improvements of Ion Microprobe Mass Analyzer
 
Creator Кузема, О.С.
Кузема, П.О.
 
Subject Іонний зонд
Магнітна призма
Фокусування іонів
Енергоаналізатор
Мас-аналізатор
Електростатична лінза
Роздільна здатність
Ионный зонд
Магнитная призма
Фокусировка ионов
Энергоанализатор
Масс-анализатор
Электростатическая линза
Разрешающая способность
Ion probe
Magnetic prism
Ion focusing
Energy analyzer
Mass analyzer
Electrostatic lens
Resolution
 
Description Розглянуто іонно-оптичні властивості і характеристики іонного мікрозондового аналізатора, в якому сепарацію первинного іонного пучка за масами виконує секторна магнітна призма, а в системі аналізу вторинних іонів у якості енергоаналізатора застосовано сферичний конденсатор, що формує паралельний іонний пучок на вході в мас-аналізатор. Це дозволило покращити параметри приладу і зменшити його габарити.
Рассмотрены ионно-оптические свойства и характеристики ионного микрозондового анализатора,
в котором сепарацию первичного пучка по массам осуществляет секторная магнитная призма, а в си-
стеме анализа вторичных ионов в качестве энергоанализатора использован сферический конденсатор,
формирующий параллельный ионный пучок на входе в масс-анализатор. Это позволило улучшить
параметры прибора и уменьшить его габариты.
It has been considered the ion-optical properties and characteristics of ion microprobe analyzer in
which the primary ion beam mass separation is realized by the magnetic prism, and the beam spherical
capacitor is used in the secondary ion analyzing system as energy analyzer which form parallel ion beam
at the mass analyzer inlet. It has allowed to improve the instrument parameters and to scale down its
overall dimension.
 
Publisher Сумський державний університет
 
Date 2014-06-04T08:56:40Z
2014-06-04T08:56:40Z
2013
 
Type Article
 
Identifier Кузема, О.С. Про деякі удосконалення іонного мікрозондового аналізатора [Текст] / О.С. Кузема, П.О. Кузема // Журнал нано- та електронної фізики. - 2013. - Т.5, №3, Ч.ІІ. - 03045.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/35629
 
Language uk