Разработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Разработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова
Розробка економічних струмопровідних контактів для газочутливих плівкових шарів диоксиду олова Development of Conductive Coatings for Gas - Sensitive Tin Diox ide Film Layers |
|
| Creator |
Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В. Новиков, В.А. Зайцев, Р.В. Зайцева, Л.В. Хрипунова, А.Л. |
|
| Subject |
Газочувствительный датчик
Токопроводящий контакт Диоксид олова Газочутливий датчик Струмопровідний контакт Діоксид олова Gas-sensitive sensor Conductive contact Tin dioxide |
|
| Description |
Для зниження собівартості перспективних для широкомасштабного застосування газових датчиків на основі плівок діоксиду олова за рахунок використання в якості струмопровідних покриттів плі- вок алюмінію, були проведені дослідження впливу режимів роботи на морфологію поверхні і кристалічну структуру плівкових гетеросистем Al/SnO2. Виявлено, що тривала робота гетеросистем при температурах 400°С призводить до появи на поверхні алюмінієвої плівки, а потім і на поверхні плівкового шару діоксиду олова частинок олова з розмірами до 2мкм, які здатні порушити властивості газочутливого шару. У роботі розглянуті фізичні механізми виявленої міжфазної взаємодії. Запропонова- на конструкція газового датчика,в якій передбачено розмежування температур чутливого шару і струмопровідних контактів, що дозволяє використовувати плівки алюмінію в означеній приладовій структурі. Для снижения себестоимости перспективных для широкомасштабного применения газовых датчиков на основе пленок диоксида олова за счет использования в качестве токопроводящих покрытий пленок алюминия, были проведены исследования влияния режимов работы на морфологию поверхности и кристаллическую структуру пленочных гетеросистем Al/SnO2. Выявлено, что длительная работа гетеросистем при температурах 400°С приводит к появлению на поверхности алюминиевой пленки, а затем и на поверхности пленочного слоя диоксида олова частиц олова с размерами до 2 мкм, которые способны нарушить свойства газочувствительные слоя. В работе рассмотрены физические механизмы выявленной межфазного взаимодействия. Предложенная конструкция газового датчика, в которой предусмотрено разграничение температур чувствительного слоя и токоведущих контактов, что позволяет использовать пленки алюминия в указанной приборной структур. For largescale application of gas sensors based on tin dioxide films it is necessary to reduce the cost of such devices. This is possible by using aluminum films as conductive coatings. Therefore, the influence of the operating conditions on the surface morphology and crystal structure of Al/SnO2 film heterosystems was investigated. It was revealed that the long- term operation of the heter osystems at 400°С leads to the appearance of tin particles with the sizes up to 2 microns on the aluminum film surface and then on the tin dioxide surface. These particles canviolate the properties ofgas - sensitive layer. The physical mechanisms of the o bserved interfacial interaction were considered. The design of the gas sensor, whichrovides separation of temperatures of sensitive layer and current-carrying contacts, was proposed that allows to use aluminum films in the specified devices. |
|
| Publisher |
Сумской государственный университет
|
|
| Date |
2014-07-28T08:05:07Z
2014-07-28T08:05:07Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов и др., Ж. нано- электрон. физ. 6 No 2, 02016 (2014)
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/36020 |
|
| Language |
ru
|
|