Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі
|
|
| Creator |
Кравченко, Юрій Степанович
Коломієць, Віталій Ігорович Кравченко, Юрий Степанович Kravchenko, Yurii Stepanovych |
|
| Subject |
H01L 21/306
плазмохімічне травлення мікроструктур хлорвуглецева плазма електронна техніка формування рисунку мікросхеми |
|
| Description |
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі, при якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове. За допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за величиною різниці частот визначають момент закінчення процесу плазмохімічного травлення. Як інформативне оптичне випромінювання використовують власне випромінювання збуджених хімічно активних частинок плазми, а момент закінчення процесу плазмохімічного травлення реєструють при суттєвому зменшенню інтенсивності такого випромінювання.
|
|
| Date |
2015-02-05T10:50:56Z
2015-02-05T10:50:56Z 2014-12-25 |
|
| Type |
Other
|
|
| Identifier |
95442
Пат. 95442 UA, МПК H01L 21/306. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі [Текст] / Ю. С. Кравченко, В. І. Коломієць (Україна). - № u201407269 ; заявл. 27.06.2014 ; опубл. 25.12.2014, Бюл. № 24. - 4 с. : кресл. http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/243 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
|
|