Мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору
Микроэлектронное шестизондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления Microelectronic six-probe device for measuring semiconductor resistance |
|
| Creator |
Нікешин, Юрій Ігорович
Осадчук, Олександр Володимирович Никешин, Юрий Игоревич Осадчук, Александр Владимирович Nikeshyn, Yurii Ihorovych Osadchyk, Oleksandr Volodymyrovych |
|
| Subject |
H01L 21/66
G01R 31/26 вимірювальна техніка електрофізичні параметри матеріалів мікроелектронний пристрій вимірювання напівпровідникового опору |
|
| Description |
Мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору містить котушку індуктивності і ємність, яка підключена до джерела живлення. Введено шість зондів, друге та третє джерело живлення, два резистори, біполярний транзистор, який з'єднаний з котушкою індуктивності та другим джерелом живлення, та польовий транзистор, до якого підключені третій та четвертий зонди.
Микроэлектронное шестизондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления содержит катушку индуктивности и емкость, которая подключена к источнику питания. Введено шесть зондов, второй и третий источник питания, два резистора, биполярный транзистор, который соединен с катушкой индуктивности и вторым источником питания, и полевой транзистор, к которому подключены третий и четвертый зонды. A microelectronic six-probe device for measuring semiconductor resistance comprises an inductance coil and a capacitance connected to a power source. In the device there are introduced six probes, second and third power sources, two resistors, a bipolar transistor connected to the inductance coil and the second power source, and a field effect transistor, to which the third and forth probes are connected. |
|
| Date |
2015-04-23T09:52:46Z
2015-04-23T09:52:46Z 2012-04-10 |
|
| Type |
Other
|
|
| Identifier |
68937
Пат. 68937, МПК H01L 21/66, G01R 31/26. Мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору [Текст] / Ю. І. Нікешин, О. В. Осадчук (Україна). - № u201114320 ; заявл. 05.12.2011 ; опубл. 10.04.2012, Бюл. № 7. - 4 с. : кресл. http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/586 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
|
|