Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору
Микроэлектронное четырех-зондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления Microelectronic four-probe device for measurement of semiconductor resistance |
|
| Creator |
Осадчук, Олександр Володимирович
Нікешин, Юрій Ігорович Осадчук, Александр Владимирович Никешин, Юрий Игоревич Osadchuk, Oleksandr Volodymyrovych Nikeshyn, Yurii Ihorovych |
|
| Subject |
H01L 21/66
G01R 31/26 вимірювальна техніка електрофізичні параметри матеріалів мікроелектронний пристрій вимірювання напівпровідникового опору |
|
| Description |
Мікроелектронний чотиризондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору містить котушку індуктивності і ємність, яка підключена до джерела живлення. В нього введено чотири зонди, друге джерело живлення, два резистори, біполярний транзистор та польовий транзистор.
Микроэлектронное четырехзондовое устройство для измерения полупроводникового сопротивления содержит катушку индуктивности и емкость, которая подключена к источнику питания. В него введены четыре зонда, второй источник питания, два резистора, биполярный транзистор и полевой транзистор. A microelectronic four-probe device for measurement of semiconductor resistance comprises an inductance coil and a capacitor connected to a power source. Four probes, a second power source, two resistors, a bipolar transistor and a field-effect transistor are incorporated. |
|
| Date |
2015-04-28T08:05:25Z
2015-04-28T08:05:25Z 2012-01-25 |
|
| Type |
Other
|
|
| Identifier |
66947
Пат. 66947, МПК H01L 21/66, G01R 31/26. Мікроелектронний шестизондовий пристрій для вимірювання напівпровідникового опору [Текст] / О. В. Осадчук, Ю. І. Нікешин (Україна). - № u201108127 ; заявл. 29.06.2011 ; опубл. 25.01.2012, Бюл. № 2. - 2 с. : кресл. http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/617 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
|
|