Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення
Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления Device for determination of plasma etching process finishing |
|
| Creator |
Кравченко, Сергій Юрійович
Кравченко, Юрій Степанович Осадчук, Володимир Степанович Кравченко, Сергей Юрьевич Кравченко, Юрий Степанович Осадчук, Владимир Степанович Kravchenko, Serhii Yuriiovych Kravchenko, Yurii Stepanovych Osadchuk, Volodymyr Stepanovych |
|
| Subject |
H01L 21/302
електронна техніка процес плазмового травлення контроль плазмових процесів |
|
| Description |
Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення належить до електронної техніки. Технічний результат корисної моделі полягає в введенні нових блоків і зв'язків.
Устройство для определения момента окончания процесса плазменного травления относится к электронной технике. Технический результат полезной модели заключается во введении новых блоков и связей. A device for determination of end of plasma etching process relates to electronics. The technical result is incorporation of new units and connections. |
|
| Date |
2015-05-07T10:27:22Z
2015-05-07T10:27:22Z 2011-11-25 |
|
| Type |
Other
|
|
| Identifier |
64926
Пат. 64926 UA, МПК H01L 21/302. Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення [Текст] / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук (Україна). - № u201104431 ; заявл. 11.04.2011 ; опубл. 25.11.2011, Бюл. № 22. - 2 с. : кресл. http://ir.lib.vntu.edu.ua/handle/123456789/698 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Publisher |
Державне підприємство "Український інститут промислової власності" (УКРПАТЕНТ)
|
|