Formation of nano-sizes in microelectronics
Вісник НТУУ "КПІ". Серія Радіотехніка, Радіоапаратобудування.
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Formation of nano-sizes in microelectronics
Формирование наноразмеров структур микроэлектроники Формування нанорозмірів структур мікроелектроніки |
|
| Creator |
Kysil, O. S.; Національний технічний університет України “Київський політехнічний інститут”
|
|
| Subject |
ion etching; etching speed
ионное травление;скорость травления йонне травлення;швидкість травлення |
|
| Description |
The physical analysis of ion etching of surfaces which are often used in microelectronics is carried out; the article contains results of modeling using developed program.
Проведен физический анализ ионного травления поверхности часто используемых материалов микроэлектроники, а также результаты моделирования разработанной программой. Проведено фізичний аналіз йонного травлення поверхні широковживаних матеріалів мікроелектроніки; наведені результати моделювання розробленою програмою. |
|
| Publisher |
National Technical University of Ukraine
|
|
| Date |
2010-01-25
|
|
| Type |
info:eu-repo/semantics/article
info:eu-repo/semantics/publishedVersion |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://radap.kpi.ua/radiotechnique/article/view/632
|
|
| Source |
BULLETIN of National Technical University of Ukraine. Series RADIOTECHNIQUE. RADIOAPPARATUS BUILDING; № 40 (2010); 149-153
Вісник НТУУ "КПІ". Серія Радіотехніка, Радіоапаратобудування; № 40 (2010); 149-153 Вестник НТУУ "КПИ". Серия Радиотехника, Радиоаппаратостроение; № 40 (2010); 149-153 |
|
| Language |
ukr
|
|
| Relation |
http://radap.kpi.ua/radiotechnique/article/view/632/599
|
|
| Rights |
1. Автори залишають за собою право на авторство своєї роботи та передають журналу право першої публікації цієї роботи на умовах ліцензії Creative Commons Attribution License, котра дозволяє іншим особам вільно розповсюджувати опубліковану роботу з обов'язковим посиланням на авторів оригінальної роботи та першу публікацію роботи у цьому журналі.2. Автори мають право укладати самостійні додаткові угоди щодо неексклюзивного розповсюдження роботи у тому вигляді, в якому вона була опублікована цим журналом (наприклад, розміщувати роботу в електронному сховищі установи або публікувати у складі монографії), за умови збереження посилання на першу публікацію роботи у цьому журналі.3. Політика журналу дозволяє і заохочує розміщення авторами в мережі Інтернет (наприклад, у сховищах установ або на особистих веб-сайтах) рукопису роботи, як до подання цього рукопису до редакції, так і під час його редакційного опрацювання, оскільки це сприяє виникненню продуктивної наукової дискусії та позитивно позначається на оперативності та динаміці цитування опублікованої роботи (див. The Effect of Open Access).
|
|