Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si
Zhytomyr State University Library
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Relation |
http://eprints.zu.edu.ua/14146/
|
|
| Title |
Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si
|
|
| Creator |
Шеремет, В. Н.
Саченко, А. В. Беляев, А. Е. Пилипенко, В. А. Петлицкая, Т. В. Анищик, В. А. Болтовец, Н. С. Конакова, Р. В. Кудрик, Я. Я. Виноградов, А. О. |
|
| Subject |
QC Physics
|
|
| Description |
Экспериментально установлено, что в процессе термообработки при Т=450°С в течение 10 минут в вакууме ~10-6 Торр омический контакт на основе металлизации Au-Pt-Ti-Pd-n+-Si формируется за счет возникновения в области границы раздела с n+Si наноразмерных металлических шунтов, элементный состав которых состоит из Si, Au и Pt. Высокая плотность шунтов, сопряженных с дислокациями и другими несовершенствами подтверждается температурной зависимостью удельного контактного сопротивления ρс(Т). Плотность проводящих дислокаций, рассчитанная из температурной зависимости ρс составляет ~5∙109 см-2 и коррелирует с плотностью структурных дефектов, определенных по ямкам травления после удаления слоев металлизации.
|
|
| Publisher |
Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе РАН
|
|
| Date |
2014
|
|
| Type |
Article
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
russian |
|
| Identifier |
http://eprints.zu.edu.ua/14146/1/p509-513.pdf
Шеремет, В. Н. and Саченко, А. В. and Беляев, А. Е. and Пилипенко, В. А. and Петлицкая, Т. В. and Анищик, В. А. and Болтовец, Н. С. and Конакова, Р. В. and Кудрик, Я. Я. and Виноградов, А. О. (2014) Токоперенос по металлическим шунтам в омических контактах к n+-Si. Физика и техника полупроводников, 48 (4). pp. 509-513. ISSN 0015-3222 |
|