Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь
Zhytomyr State University Library
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Relation |
http://eprints.zu.edu.ua/16860/
|
|
| Title |
Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь
|
|
| Creator |
Томашик, В. М.
Томашик, З. Ф. Кусяк, Н. В. |
|
| Subject |
QD Chemistry
|
|
| Description |
Досліджено характер хімічного розчинення нелегованого та легованого оловом InAs в розчинах системи HNO3-HBr-етиленгліколь. Побудовано поверхні рівних швидкостей травлення (діаграми Гіббса), з’ясовано кінетичні закономірності і визначено лімітуючі стадії процесу розчинення та області поліруючих розчинів. Встановлено вплив легування на характер хімічного травлення арсеніду індію. На основі проведених експериментів визначено концентраційні границі розчинів, які можна використовувати для різних хімічних обробок (полірування, селективне травлення) нелегованого та легованого оловом арсеніду індію. |
|
| Date |
2001
|
|
| Type |
Article
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
ukraine |
|
| Identifier |
http://eprints.zu.edu.ua/16860/1/0204-13.pdf
Томашик, В. М. and Томашик, З. Ф. and Кусяк, Н. В. (2001) Хімічне травлення нелегованого та легованого InAs в розчинах системи HNO3–HBr–етиленгліколь. Фізика і хімія твердого тіла, 2 (4). pp. 631-636. ISSN 1729-4428 |
|