Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота
Zhytomyr State University Library
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Relation |
http://eprints.zu.edu.ua/16866/
|
|
| Title |
Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота
|
|
| Creator |
Шелюк, І. О.
Томашик, З. Ф. Томашик, В. М. Денисюк, Р. О. Стратійчук, І. Б. |
|
| Subject |
QD Chemistry
|
|
| Date |
2011
|
|
| Type |
Article
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
ukraine |
|
| Identifier |
http://eprints.zu.edu.ua/16866/1/Shelyuk.pdf
Шелюк, І. О. and Томашик, З. Ф. and Томашик, В. М. and Денисюк, Р. О. and Стратійчук, І. Б. (2011) Хімічне травлення поверхні монокристалів GaAs, GaSb, InAs та InSb травильними композиціями Н2О2–НBr–цитратна кислота. Вопросы химии и химической технологии (1). pp. 110-114. ISSN 0321-4095 |
|