Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник
Zhytomyr State University Library
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Relation |
http://eprints.zu.edu.ua/17755/
|
|
| Title |
Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник
|
|
| Creator |
Томашик, З. Ф.
Чернюк, О. С. Томашик, В. М. Гриців, В. І. Кусяк, Н. В. |
|
| Subject |
QD Chemistry
|
|
| Publisher |
Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева
|
|
| Date |
2005
|
|
| Type |
Article
PeerReviewed |
|
| Format |
text
|
|
| Language |
uk
ukraine |
|
| Identifier |
http://eprints.zu.edu.ua/17755/1/Tom_2005_162.pdf
Томашик, З. Ф. and Чернюк, О. С. and Томашик, В. М. and Гриців, В. І. and Кусяк, Н. В. (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника (40). pp. 162-166. ISSN 0233-7577 |
|