Запис Детальніше

Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник

Zhytomyr State University Library

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Relation http://eprints.zu.edu.ua/17755/
 
Title Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник
 
Creator Томашик, З. Ф.
Чернюк, О. С.
Томашик, В. М.
Гриців, В. І.
Кусяк, Н. В.
 
Subject QD Chemistry
 
Publisher Ин-т физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева
 
Date 2005
 
Type Article
PeerReviewed
 
Format text
 
Language uk
ukraine
 
Identifier http://eprints.zu.edu.ua/17755/1/Tom_2005_162.pdf
Томашик, З. Ф. and Чернюк, О. С. and Томашик, В. М. and Гриців, В. І. and Кусяк, Н. В. (2005) Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3–HCl–розчинник. Оптоэлектроника и полупроводниковая техника (40). pp. 162-166. ISSN 0233-7577