Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции
|
|
| Creator |
Вербицкий, В.Г.
|
|
| Description |
Рассматриваются вопросы формирования пленочных структур силицидных материалов путем бомбардировки конденсата частично ионизированных компонентов потоком металла. Исследуются новые технологические подходы к изготовлению перспективной элементной базы вычислительной техники.
|
|
| Date |
2010-03-01T16:28:56Z
2010-03-01T16:28:56Z 2002 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Математическая модель формирования силицидных пленок методом ионной бомбардировки при встречных потоках диффузантов к границам протекания реакции / В.Г. Вербицкий // Комп’ютерні засоби, мережі та системи. — 2002. — № 1. — С. 14-19. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
1817-9908 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/6354 681.3 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Інститут кібернетики ім. В.М. Глушкова НАН України
|
|