Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000
|
|
| Creator |
Дудкин, А.А.
Инютин, А.В. Отвагин, А.В. |
|
| Subject |
Распознавание образов. Системы цифровой обработки сигналов и изображений
|
|
| Description |
Разработана параллельная реализация моделирования процессов фотолитографии для применения на суперкомпьютере СКИФ К-1000. Использование параллельных средств вычисления позволило получить хорошие результаты по ускорению процесса формирования изображения в слое фоторезиста и последующего автоматического контроля оригиналов топологии. Розроблена паралельна реалізація моделювання процесів фотолітографії для застосування на суперкомп’ютері СКІФ К-1000. Використання паралельних засобів обчислення дозволило одержати добрі результати з прискорення процесу формування зображення в шарі фоторезиста і подальшого автоматичного контролю оригіналів топології. The parallel realization of modeling of photolithography processes was developed for application on supercomputer SKIF К-1000. Parallel means of calculation have allowed accelerating of image generation process in a photoresist layer and the subsequent automatic mask inspection. |
|
| Date |
2010-03-31T15:14:38Z
2010-03-31T15:14:38Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Моделирование процессов фотолитографии на суперкомпьютере СКИФ К-1000 / А.А. Дудкин, А.В. Инютин, А.В. Отвагин // Штучний інтелект. — 2008. — № 4. — С. 348-352. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.
1561-5359 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7477 535.317:004.22 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Інститут проблем штучного інтелекту МОН України та НАН України
|
|