Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів — середовищ для голографії та оптичного запису інформації
|
|
| Creator |
Тарнай, А.А.
Кириленко, В.К. Рубіш, В.М. Гера, Е.В. |
|
| Subject |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
|
|
| Description |
Розроблено установку для дослідження кінетики рідинного травлення тонких плівок халькогенідних склоподібних матеріалів (неорганічних резистів) і одержання інформаційного мікрорельєфу в статичному, динамічному з циркуляцією та динамічному з утилізацією травника режимах в інтервалі температур 293 - 353 K
Разработана установка для исследования кинетики жидкостного травления тонких пленок халькогенидных стеклообразных материалов (неорганических резистов) и получения информационного микрорельефа в статическом, динамическом с циркуляцией и динамическом с утилизацией травителя режимах в интервале температур 293–253 К. An apparatus for investigations of liquid etching kinetics of thin chalcogenide vitreous films (inorganic resist) in static, dynamic with circulation and dynamic with utilization of the etchant, modes in the temperature range of 293–353 K and obtaining an information microrelief is developed. |
|
| Date |
2010-04-02T12:25:13Z
2010-04-02T12:25:13Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Установка для дослідження процесів рідинного травлення неорганічних резистів - середовищ для голографії та оптичного запису інформації / А.А. Тарнай, В.К. Кириленко, В.М. Рубіш, Е.В. Гера // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2008. — Т. 10, № 2. — С. 32-36. — Бібліогр.: 10 назв. — укp.
1560-9189 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7565 004.08; 004.023; 004.085 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Реєстрація, зберігання і обробка даних
|
|
| Publisher |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
|
|