Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
|
|
| Creator |
Фаренік, В.І.
|
|
| Description |
У цьому огляді наводяться результати наукових досліджень та прикладних розробок, виконаних у ХНУ імени В.Н. Каразіна НФТЦ МОН та НАН України з середини 70-х років до початку 90-х у галузі фізичних основ плазмових технологій для мікроелектроніки.
В этом обзоре приводятся результаты научных исследований и прикладных разработок, выполненных в ХНУ имени В.Н. Каразина и НФТЦ МОН и НАН Украины с середины 70-х годов до начала 90-х в области физических основ плазменных технологий для микроэлектроники. In this review the findings of research investigations and applied developments made in both V.N. Karazin KNU and SCPT MES & NAS Ukraine from the end 70 up to the end 90 in the field of a basic physics of plasma technologies for micro- and nanoelectronics are presented. |
|
| Date |
2010-04-23T11:23:00Z
2010-04-23T11:23:00Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях / В.І. Фаренік // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 3. — С. 166-170. — укр.
1999-8074 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/7984 539.23 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|