Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок
|
|
| Creator |
Буданов, В.Е.
Суслов, Н.Н. Шубенко, А.Л. Степанов, В.Ю. |
|
| Subject |
Прикладная радиофизика
|
|
| Description |
Исследуется новый волноведущий тракт, состоящий из плоскопараллельного открытого волновода и двух секторных рупоров специальной геометрии, который при использовании его в составе измерительного плеча интерферометра 4-мм диапазона обеспечивает возможность субмикронной разрешающей способности при бесконтактном контроле толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их производства. Досліджується запропонований новий хвильоведучий тракт, що складається із плоскопаралельного відкритого хвилеводу і двох секторних рупорів спеціальної геометрії, який при використанні його у складі вимірювального плеча інтерферометра 4-мм діапазону забезпечує можливість субмікронної розрізнювальної здатності при безконтактному контролі товщини тонких діелектричних плівок у процесі їх виробництва. The new wave guiding tract which is consist of the parallel plates of open waveguide and two sector horns of special geometry, which ones are provide in the measuring interferometer's shoulder of an submillimeter resolving capacity in the 4-mm waveband at the contact less thickness dielectric films control during their production is under consideration. |
|
| Date |
2010-08-09T13:59:59Z
2010-08-09T13:59:59Z 2007 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Измерительное плечо интерферометра миллиметрового диапазона для контроля толщины тонких диэлектрических пленок / В.Е. Буданов, Н.Н. Суслов, А.Л. Шубенко, В.Ю. Степанов // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 3. — С. 610-614. — Бібліогр.: 4 назв. — рос.
1028-821X http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/10888 620.179 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
|
|