Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния
|
|
| Creator |
Куликовский, В.Ю.
Ворличек, В. Богач, П. Страйнянек, М. Чтвертлик, Р. Курдюмов, А.В. Горбань, В.Ф. |
|
| Subject |
Тонкие пленки и другие двумерные объекты
|
|
| Description |
Робота присвячена вивченню механічних властивостей аморфних і нанокристалічних плівок Si та SiC, одержаних за різних режимів магнетронного розпилювання, і порівнянню цих характеристик з такими самими характеристиками їх монокристалічних аналогів. Установлено, що твердість і модуль пружності всіх аморфних а-SiC плівок завжди нижче, ніж у масивного α-SiC монокристала, в той час як твердість нанокристалічних SiC плівок вище, а модуль пружності нижче, ніж у монокристала. На відміну від SiC, твердість і модуль Юнга всіх аморфних Si плівок завжди менший, ніж у полікристалічної плівки і монокристала Si(111), для яких значення цих характеристик практично однакові.
|
|
| Date |
2010-10-21T14:18:13Z
2010-10-21T14:18:13Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Механические свойства аморфных и нанокристаллических пленок кремния и карбида кермния / В.Ю. Куликовский, В. Ворличек, П. Богач, М. Страйнянек, Р. Чтвертлик, А.В. Курдюмов, В.Ф. Горбань // Наноструктурное материаловедение. — 2008. — № 1. — С. 42-51. — Бібліогр.: 22 назв. — рос.
1996-9988 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/12763 548.736.15 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
|
|