Ионный инжектор полевого типа
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Ионный инжектор полевого типа
|
|
| Creator |
Возный, В.И.
Сторижко, В.Е. Мирошниченко, В.И. Токмань, В.В. Миронец, Е.А. Батура, Е.А. |
|
| Subject |
Наукові основи інноваційної діяльності
|
|
| Description |
С целью повышения пространственного разрешения установок с фокусированными ионными пучками разработан ионный инжектор полевого типа. Измерения параметров инжектора проводятся на высоковакуумном стенде с давлением остаточных газов порядка 5•10–7 Па. Ионный инжектор состоит из газового полевого ионного источника игольчато-капиллярного типа, фокусирующей одиночной линзы и компактного фильтра Вина на постоянных магнитах. Конструкция полевого источника предусматривает возможность охлаждения вольфрамовой иглы до температуры жидкого азота. В настоящее время измерены вольт-амперные характеристики (ВАХ) ионного источника, работающего при комнатной температуре. Получен полевой ионный ток (1—5) • 10–12 А при напряжении экстракции 2—5 кВ.
З метою підвищення роздільної здатності установок з фокусованими іонними пучками розроблено іонний інжектор польового типу. Вимірювання параметрів інжектора проводяться на високовакуумному стенді з тиском залишкових газів на рівні 5 • 10–7 Па. Іонний інжектор складається з газового польового іонного джерела голчатокапілярного типу, фокусної одиночної лінзи та компактного фільтра Віна на постійних магнітах. Конструкція польового джерела передбачає можливість охолодження вольфрамової голки до температури рідкого азоту. В даний час виміряні ВАХ іонного джерела, що працює при кімнатній температурі. Отримано польовий іонний струм (1—5) • 10–12 A при напрузі екстракції 2—5 кВ. To improve the spatial resolution of FIB systems, field type ion injector has been developed. Measurements of the injector parameters are performed on the high-vacuum stand with a residual pressure about 5 • 10–7 Pa. Ion injector consists of a needle-in-capillary type gas field ion source, focusing einzel lens and compact Wien filter with permanent magnets. The field ion source design provides the possibility of cooling the tungsten needle to a liquid nitrogen temperature. Current voltage characteristics of the ion source operating at room temperature have been measured. Ion field emission current up to (1—5) • 10–12 A at 2—5 kV emission voltage is obtained. |
|
| Date |
2011-10-29T14:34:31Z
2011-10-29T14:34:31Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Ионный инжектор полевого типа / В.И. Возный, В.Е. Сторижко, В.И. Мирошниченко, В.В. Токмань, Е.А. Миронец, Е.А. Батура // Наука та інновації. — 2010. — Т. 6, № 5. — С. 72-76. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1815-2066 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/28141 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Наука та інновації
|
|
| Publisher |
Видавничий дім "Академперіодика" НАН України
|
|