Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів
|
|
| Creator |
Філімонов, С.О.
|
|
| Subject |
Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях
|
|
| Description |
Розглянуто проблеми створення п'єзосканерів. Запропоновано і досліджено конструкцію п'єзокерамічного сканера для наномікроскопів на основі біморфних п'езоелементів. Побудовано і досліджено модель цього сканера за допомогою пакета програми FemLab 3.2.
The article is devoted to the problems of creation of piezoscanners. Offered and probed construction of piezoceramic scanner for nanomicroscopes based on bimorph piezoelements. Built and probed model of this scanner with a help the package of the program FemLab 3.2. |
|
| Date |
2012-04-13T22:47:13Z
2012-04-13T22:47:13Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Побудова моделі п‘єзокерамічного сканера для зондових наномікроскопів на основі біморфних п‘єзоелементів / С.О. Філімонов // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 126-129. — Бібліогр.: 7 назв. — укp.
1681-7893 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32191 681.586 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|