Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску
|
|
| Creator |
Кравченко, Ю.С.
Савицький, А.Ю. |
|
| Subject |
Оптичні та оптико-електронні сенсори і перетворювачі в системах керування та екологічного моніторингу
|
|
| Description |
Розглянуто вплив вологості на технологічний процес виготовлення інтегральних мікросхем, принципи побудови сенсорів вологості робочих плазмоутворюючих газів для мікроелектронної технології. Проаналізовано шляхи підвищення чутливості таких сенсорів і перспективу їх використання за технологічних умов.
This paper is devoted to the influence of moisture on technological process of the integrated circuits manufacturing, principles of construction of moisture sensors, that could be using for analyses of the plasma-formative gases for microelectronic technology and the ways of rising their sensitiveness and the perspectives of their applications at the technologic conditions were analyzed. |
|
| Date |
2012-04-13T23:24:14Z
2012-04-13T23:24:14Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Оптичні сенсори вологості робочих газів підвищеного і атмосферного тиску / Ю.С. Кравченко, А.Ю. Савицький // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2008. — № 2 (16). — С. 175-181. — Бібліогр.: 18 назв. — укp.
1681-7893 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32200 621.38 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|