Запис Детальніше

Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію
 
Creator Житарюк, В.Г.
Годованюк, В.М.
Докторович, І.В.
 
Subject Оптична і квантова електроніка в комп’ютерних та інтелектуальних технологіях
 
Description Досліджено вплив іонного травлення поверхонь пластин кремнію на основні параметри фотодіодів, виготовлених на цих поверхнях.
Influence of ion etching of surfaces of silicon plates on the principal parameters of photodiodes made on these surfaces is investigated.
 
Date 2012-04-14T19:38:19Z
2012-04-14T19:38:19Z
2009
 
Type Article
 
Identifier Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію / В.Г. Житарюк, В.М. Годованюк, І.В. Докторович // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2009. — № 1 (17). — С. 137-140. — Бібліогр.: 4 назв. — укp.
1681-7893
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/32230
537.611
 
Language uk
 
Relation Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології
 
Publisher Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України