Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії
|
|
| Creator |
Крючин, А.А.
Рубіш, В.М. Костюкевич, С.О. Мінько, В.І. Шепелявий, П.Є. Лисюк, В.О. Костюкевич, К.В. Сурмач, М.А. |
|
| Subject |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
|
|
| Description |
Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менте діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах.
The results of analysis on the photosensitive properties of materials with nonlinear exposition characteristic have been performed. It is shown that some photo(thermo)sensitive materials allow to register the image of elements having sizes less than the diameter of exposing beam. The results of laser writing to inorganic photoresists are presented. |
|
| Date |
2013-10-23T23:51:29Z
2013-10-23T23:51:29Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії / А.А. Крючин, В.М. Рубіш, С.О. Костюкевич, В.І. Мінько, П.Є. Шепелявий, В.О. Лисюк, К.В. Костюкевич, М.А. Сурмач // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2012. — Т. 14, № 3. — С. 3-11. — Бібліогр.: 21 назв. — укр.
1560-9189 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50580 004.85 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Реєстрація, зберігання і обробка даних
|
|
| Publisher |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
|
|