Запис Детальніше

Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах

Vernadsky National Library of Ukraine

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах
 
Creator Косско, И.А.
Крючин, А.А.
Кравец, В.Г.
Мохнюк, А.А.
Оберемок, А.С.
 
Subject Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
 
Description Исследована возможность формирования информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах, полученных методом реакционного спекания и горячего прессования (SiC, SiC+В₄С и Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а также в монокристаллическом кремнии. Для получения микрорельефа использован метод плазмохимического травления.
Досліджено можливість формування інформаційного рельєфу в деяких неметалічних матеріалах, отриманих методом реакційного спікання та гарячого пресування (SiC, SiC+В₄С і Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а також у монокристалічному кремнії. Для отримання мікрорельєфу використано метод плазмохімічного травлення.
An opportunity of forming the information relief in certain nonmetal materials obtained by a technique of reaction baking and hot pressing (SiC, SiC+В₄С and Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN) as well as in monocrystalline silicon is investigated. For obtaining a microrelief the plasmochemical etching technique is used.
 
Date 2013-11-04T18:30:25Z
2013-11-04T18:30:25Z
2006
 
Type Article
 
Identifier Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах / И.А. Косско, А.А. Крючин, В.Г. Кравец, А.А. Мохнюк, А.С. Оберемок // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 7 назв. — pос.
1560-9189
http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50823
004.85
 
Language ru
 
Relation Реєстрація, зберігання і обробка даних
 
Publisher Інститут проблем реєстрації інформації НАН України