Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах
|
|
Creator |
Косско, И.А.
Крючин, А.А. Кравец, В.Г. Мохнюк, А.А. Оберемок, А.С. |
|
Subject |
Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних
|
|
Description |
Исследована возможность формирования информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах, полученных методом реакционного спекания и горячего прессования (SiC, SiC+В₄С и Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а также в монокристаллическом кремнии. Для получения микрорельефа использован метод плазмохимического травления.
Досліджено можливість формування інформаційного рельєфу в деяких неметалічних матеріалах, отриманих методом реакційного спікання та гарячого пресування (SiC, SiC+В₄С і Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN), а також у монокристалічному кремнії. Для отримання мікрорельєфу використано метод плазмохімічного травлення. An opportunity of forming the information relief in certain nonmetal materials obtained by a technique of reaction baking and hot pressing (SiC, SiC+В₄С and Si₃N₄, Si₃N₄+В₄С, AlN) as well as in monocrystalline silicon is investigated. For obtaining a microrelief the plasmochemical etching technique is used. |
|
Date |
2013-11-04T18:30:25Z
2013-11-04T18:30:25Z 2006 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Формирование информационного рельефа в некоторых неметаллических материалах / И.А. Косско, А.А. Крючин, В.Г. Кравец, А.А. Мохнюк, А.С. Оберемок // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. — 2006. — Т. 8, № 1. — С. 3-8. — Бібліогр.: 7 назв. — pос.
1560-9189 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/50823 004.85 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Реєстрація, зберігання і обробка даних
|
|
Publisher |
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України
|
|