Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем
|
|
| Creator |
Дранчук, С.Н.
Завадский, В.А. Мокрицкий, В.А. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Разработана диффузионная модель жидкофазной эпитаксии двухслойной системы в условиях изменения скорости охлаждения раствора-расплава. Обнаружено, что после прекращения охлаждения переходный процесс продолжается, за счет чего продолжается и рост слоя. Этот эффект связан с предполагаемой инерционностью процесса диффузии. Показано практическое применение обнаруженного явления.
Розроблено дифузійну модель рідиніюфазиої епітаксії двошарової системи в умовах зміни швидкості охолодження розчину-розплаву. Виявлено, що після припинення охолодження перехідний процес продовжується, за рахунок чого продовжується і зростання шару. Цей ефект пов'язаний з припущенною інерційністю процесу дифузії. Показано практичне застосування виявленого явища. A liquid phase epitaxy diffusion model of a two-layer system at instable cooling speed of the solution-melt has been developed. It was discovered that the transition process continues even after the termination of cooling, clue to which the layer growth continues as well. This effect is connected with to the hypothetical inertia of the diffusion process. The practical application of this phenomenon is shown. |
|
| Date |
2013-12-07T01:29:35Z
2013-12-07T01:29:35Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Массоперенос при жидкофазной эпитаксии двухслойных систем / С.Н. Дранчук, В.А. Завадский, В.А. Мокрицкий // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2012. — № 5. — С. 48-51. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51713 621.362:621.383 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|