Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники
|
|
Creator |
Одиноков, В.В.
Павлов, Г.Я. |
|
Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
Description |
Представлены новые разработки - комплекты вакуумно-плазменного и физико-термического технологического оборудования микро-, нано-, радиоэлектроники для технического обучения, научных исследований, отработки технологических процессов, а также для обеспечения мелкосерийного производства на предприятиях малого и среднего бизнеса.
Представлено нові розробки - комплекти вакуумно-плазмового і фізико-термічного технологічного обладнання мікро-, нано-, радіоелектроніки для технічного навчання, наукових досліджень, відпрацювання технологічних процесів, а також для забезпечення дрібносерійного виробництва на підприємствах малого та середнього бізнесу. Some new developments are presented - vacuum-plasma and physics-thermal processing equipment kits for micro, nano- and radio electronics for technical training, research, technological process development, as well as for smallscale production in small and medium-sized businesses. |
|
Date |
2013-12-11T19:25:56Z
2013-12-11T19:25:56Z 2011 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Новое технологическое оборудование для инновационных технологий микро-, нано- и радиоэлектроники / В.В. Одиноков, Г.Я. Павлов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 3. — С. 41-43. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51823 |
|
Language |
ru
|
|
Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|