Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы
|
|
| Creator |
Перевертайло, В.Л.
|
|
| Subject |
Функциональная микро- и наноэлектроника
|
|
| Description |
Разработаны технология и конструкция прототипа датчика высокоэнергетических частиц для эксперимента ALICE. Детекторы удовлетворяют требованиям по основным электрофизическим параметрам и по радиационной стойкости.
Розглянуто питання проектування, технології та виготовлення двосторонніх кремнієвих мікростріпових детекторів на стандартному обладнанні технологічної лінії в умовах серійного виробництва кремнієвих інтегральних схем. Представлено розробку прототипу детектора високоенергетичних часток для експерименту ALICE (CERN). . Виготовлені детектори порівнянні за параметрами з аналогічними зарубіжними детекторами, проте відрізняються меншою вартістю. The problems of design, technology and manufacturing double-sided silicon microstrip detectors using standard equipment production line in mass production of silicon integrated circuits are considered. The design of prototype high-energy particles detector for experiment ALICE (CERN) is presented. The parameters of fabricated detectors are comparable with those of similar foreign detectors, but they are distinguished by lesser cost. |
|
| Date |
2013-12-12T23:03:44Z
2013-12-12T23:03:44Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Интегральные двухсторонние кремниевые микростриповые детекторы / В.Л. Перевертайло // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2011. — № 5. — С. 17-24. — Бібліогр.: 31 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51846 539.1.074.5;621.382;621.039.7 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|