Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума
|
|
| Creator |
Васильев, Ю.К.
Нестеров, С.Б. Васильева, Т.С. |
|
| Subject |
Обеспечение тепловых режимов
|
|
| Description |
Показано влияние развития полупроводниковой промышленности на основные современные тенденции развития вакуумной техники и рынка вакуумного оборудования.
|
|
| Date |
2013-12-15T22:39:52Z
2013-12-15T22:39:52Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Тенденции развития средств создания и анализа безмасляного вакуума / Ю.К. Васильев, С.Б. Нестеров, Т.С. Васильева // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 47-51. — Бібліогр.: 3 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51910 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|