Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией
|
|
| Creator |
Дудин, С.В.
Рафальский, Д.В. Зыков, А.В. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Разработанный источник ионов позволяет управлять энергией и плотностью тока пучка. Полученные результаты можно использовать в технологиях производства производства опто- и микроэлектронных приборов.
|
|
| Date |
2013-12-15T22:42:15Z
2013-12-15T22:42:15Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Широкоапертурный высокочастотный источник ионов низкой энергии с электронной компенсацией / С.В. Дудин, Д.В. Рафальский, А.В. Зыков // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2010. — № 2. — С. 52-55. — Бібліогр.: 20 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/51911 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|