Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок
|
|
| Creator |
Иванчиков, А.Э.
Кисель, А.М. Медведева, А.Б. Плебанович, В.И. |
|
| Subject |
Материалы электроники
|
|
| Description |
Установлено, что оценка качества пленки после различных технологических операций изготовления ИС может проводиться по изменению спектра пропускания пленки. Это позволяет исключить брак ИС, обусловленный обрывом слоя металла.
Встановлено, що оцінка якості плівки після різних технологічних операцій виготовлення ІС може проводитися по зміні спектру пропускання плівки. Це дозволяє виключити брак ІС, обумовлений обривом шару металу. It is established, that the estimation of quality of a film after various technological operations of IC manufacturing can be realized by means of changing the transmission spectrum of the film. It allows to exclude rejects of ICs caused by breakage of a metal layer. |
|
| Date |
2013-12-26T00:43:52Z
2013-12-26T00:43:52Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Изменение свойств пленок кремнийорганических стекол после термической и плазмохимической обработок / А.Э. Иванчиков, А.М. Кисель, А.Б. Медведева, В.И. Плебанович // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 2. — С. 46-50. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52046 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|