Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния
|
|
| Creator |
Форш, П.А.
Форш, Е.А. Мартышов, М.Н. Тимошенко, В.Ю. Кашкаров, П.К. |
|
| Subject |
Функциональная микро- и наноэлектроника
|
|
| Description |
Обнаружено, что термическое окисление оказывает различное влияние на проводимость слоев пористого кремния, измеряемую вдоль различных кристаллографических направлений, что можно объяснить наличием потенциальных барьеров на границах связанных кремниевых нанокристаллов.
|
|
| Date |
2013-12-29T22:11:57Z
2013-12-29T22:11:57Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Влияние термического окисления на анизотропию электропроводности и фотопроводимости наноструктурированного кремния / П.А Форш., Е.А. Форш, М.Н. Мартышов, В.Ю. Тимошенко, П.К. Кашкаров // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 35-37. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52328 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|