Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей
|
|
| Creator |
Федорович, О.А.
Кругленко, М.П. Полозов, Б.П. |
|
| Subject |
Технологические процессы и оборудование
|
|
| Description |
Выбраны оптимальные режимы плазмохимического травления торцов пластин в реакторе, разработанном в ИЯИ, который по производительности превосходит лучший зарубежный аналог при более высоком качестве обработки пластин.
|
|
| Date |
2013-12-29T22:21:48Z
2013-12-29T22:21:48Z 2009 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особенности плазмохимического травления торцов кремниевых пластин для фотоэлектрических преобразователей / О.А. Федорович, М.П. Кругленко, Б.П. Полозов // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 2009. — № 6. — С. 46-49. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/52331 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|